| SJ/T 11829.2-2022晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式PECVD设备标准基础信息 | |||
| 标准编号 | SJ/T 11829.2-2022 | 标准名称 | 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式PECVD设备 |
| 批准日期 | 2022-10-20 | 实施日期 | 2023-1-1 |
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